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日立アプライアンス株式会社

Hitachi

クリーンルームに欠かせない清浄空気を生成。

システム天井用フィルターユニット

主な特長

半導体製造等のクリーンルーム用途。

●省エネルギー

ターボファンを搭載。DCBLタイプはDCBLモーターを搭載し、さらに省エネ効果を実現しています。

  • PCU-24EHMF(当社標準機): 90W → PCU-24EHMH-D(当社DCBLモーター搭載機): 70W

●高さ・質量

ユニット全体高さ: 318mm(標準型)、365mm(DCBLタイプ)
質量:32kg(モジュール寸法600×1200、標準型)、38kg(モジュール寸法750×1500、標準型)、43kg(モジュール寸法750×1500、DCBLタイプ)
(天井高の低いクリーンルームに設置、据付ができます。)

●機外静圧98Pa対応

●オプション機能の充実

半導体製造等のクリーンルーム用途。

  • 集中監視規制システムに対応可能(DCBLタイプ)
  • 風量、風速の個別制御可能(DCBLタイプ)

その他、多彩なオプションに対応します。
(フィルターグレード、ケミカルフィルター搭載、アウトガス対応等)
DCBL: 直流ブラシレスモーター

仕様表

仕様表
型式 DCBLモータ
タイプ
ACモータタイプ
PCU-
24EHMH-D
PCU-
24EHMF
PCU-
24EHMF-PP
PCU-
15SHMF-PP
PCU-
15SHF-PX
モジュール寸法 (mm) 750X 1,500 750X 1,500 750X 1,500 600X 1,200 600X 1,200
全高さ (mm) 365 318 318 318 200
風量 (50/60Hz) (m3/min) 23.6 23.6 23.6 15 15
モジュール平均風速
(50/60Hz) (m/s)
0.35 0.35 0.35 0.35 0.35
機外静圧 (Pa) 29.4 29.4 98 98 50
集じん効率 (%) 99.9995以上(0.1μm粒子径にて) 99.99以上(0.3μm粒子にて)
本体材質 ガルバリウム鋼板
電源 交流三相 200V(50/60Hz)
消費電力 (W) 70 90 135 105 130
質量 (kg) 40 38 38 32 23